電感耦合等離子體質譜ICP-MS，是20世紀80年代發(fā)展起來的新的分析測試技術。它以獨特的接口技術 將ICP-MS的高溫電離特性與四極桿質譜計的靈敏快速掃描的優(yōu)點相結合而形成一種新型的 元素和同位素分析技術。

電感耦合等離子體質譜儀用來測定超痕量元素和同位素比值，具有很低的檢出限，基體效應小,譜線簡單等特點，廣泛應用于環(huán)境保護、食品安全、醫(yī)藥生物等很多領域。由等離子體發(fā)生器，霧化室，炬管，四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管（稱為離子探測器或收集器）組成。

工作原理：霧化器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化,解離出離子化氣體,通過銅或鎳取樣錐收集的離子,在低真空約133.322帕壓力下形成分子束,再通過1～2毫米直徑的截取板進入四極質譜分析器，經濾質器質量分離后，到達離子探測器，根據探測器的計數與濃度的比例關系,可測出元素的含量或同位素比值。